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                      [导读]世界光刻机巨头ASML亮相第三届进博会。作为全球唯一能生产EUV光刻机的企业,由于ASML目前仍不能向中国出口EUV光刻机,所以此次展示的是其DUV光刻机。据了解,该产品可生产7nm及以上制程芯片。

                      据每日经济新闻报道,世界光刻机巨头ASML亮相第三届进博会。作为全球唯一能生产EUV光刻机的企业,由于ASML目前仍不能向中国出口EUV光刻机,所以此次展示的是其DUV光刻机。据了解,该产品可生产7nm及以上制程芯片。

                      光刻机(Mask Aligner) 又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

                      21ic家了解到,作为全球芯片作为全球芯片光刻技术的领导者,ASML(阿斯麦)以“光刻未来,携手同行”为主题亮相第三届进博会技术装备展区。

                      在此次展会上,ASML除了展示了其整体光刻解决方案,包括先进控制能力的光刻机台计算光刻和测量通过建模、仿真、分析等技术,让边缘定位精度不断提高。同时也让现场观众近距离接触光刻机模型,同时,通过光刻小游戏,让大家更近距离体验光刻世界的奇妙,在趣味中体验“光的掌门人”的日常工作。

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